ZYFB-3600渦輪分子泵
是靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子運(yùn)動(dòng)從而獲得超高真空的一種機(jī)械式真空泵，是由動(dòng)葉輪與靜葉輪組合而成，比擴(kuò)散泵節(jié)能、無(wú)油蒸汽污染，同時(shí)具有分子流時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn)，是目前國(guó)內(nèi)大抽速的分子泵，動(dòng)葉輪采用變截面加工，其強(qiáng)度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩(wěn)定。
此分子泵對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性、無(wú)記憶效應(yīng)，由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應(yīng)用于電子、冶金、化工、科研及真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。
ZYFB-3600渦輪分子泵
技術(shù)參數(shù)表
型號(hào)
ZYFB-3600
進(jìn)氣口法蘭
400 ISO-K
排氣口法蘭
100 ISO-K
抽氣速率(L/S)(對(duì)空氣)
3600
壓縮比
N2
>108
H2
>6X102
極限壓強(qiáng)(Pa)
<2×10-6
額定轉(zhuǎn)速(rpm)
12600
使用軸承
進(jìn)口陶瓷軸承
振動(dòng)值
≤0.15μm
啟動(dòng)時(shí)間(min)
<10
停機(jī)時(shí)間(min)
<20
建議采用的前級(jí)泵（L／S）
30
冷卻方式
水冷
冷卻水溫度（℃）
≤20
冷卻水流量(L/min)
1
泵體烘烤溫度（℃）
<80
環(huán)境溫度（℃）
5-40
安裝方向
垂直±5°
泵重量(kg)
≈100
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